c.PLASMA X PECVD 系统

c.PLASMA X
c.PLASMA X
PECVD石墨舟

领先的太阳能电池 PECVD技术

全球装机量超过1250台,centrotherm的PECVD平台c.PLASMA为太阳能电池的钝化和减反射膜设定了技术标杆和行业标准。该系统独特地集高产能、优异工艺性能与低运行成本于一体。

centrotherm可针对不同的硅片尺寸和产能要求提供两种主要配置。

除了用于166mm硅片的5管设备外,centrotherm还推出来引领光伏产业发展的新一代c.PLASMA X。基于其成熟的平台,c.PLASMA X为高产能设定了新标准。10管设计同样为边长达210mm的硅片提供了最大的灵活性和系统可用性。最值得称道的是,它集成了TMA供应柜和真空泵,从而显著节省了占地面积。在生产负荷和工艺步骤发现变化的情况下,仍能保证平稳运转。

优点

  • SiNx层具有优异的氢钝化效果
  • 渐变和多层膜可以提高更宽波段的减反射效果
  • 效率提升,外观优化
  • 在AlOx厚度为4-10nm的AlOx/SiNx叠层沉积中具有优异的钝化性能
  • 只需改变工艺气体,可一步完成AlOx/SiNx叠层沉积
  • 各管自由切换工艺配方
  • 适用于单晶和多晶太阳能电池的生产
  • 优异的表面覆盖均匀性

工艺流程

  • 氮化矽 (SiNx) PECVD
  • 二氧化硅 (SiOx) PECVD
  • 氮氧化物 (SiONx) PECVD
  • 氧化铝 (AlOx) PECVD
  • Multi-Layer多层
  • 其他工艺