c.VERTICOO Mini

Verticoo Mini: Vertikales Minibatch-Prozesssystem
Verticoo Mini: Vertikales Minibatch-Prozesssystem

小批量生产晶圆热加工

商先创公司的c.VERTICOO Mini是一种为研发与小批量生产热加工而设计的独立微批量晶圆加工设备。

独一无二的工艺腔体与加热系统能够在1100°C的高温下运转。商先创公司的c.VERTICOO Mini加热炉由于加工批量小,因此具有高度的灵活性,适合所有的标准大气压与低压加工。这一结构的最大限度加工批量为50片晶圆,从而降低了客户的开发成本。

商先创公司的设计具有性能高、占地面积小、拥有成本低的突出优点,同时具有许多半导体器件制造工序所要求的高度的加工灵活性。c.VERTICOO Mini 可根据需要加设薄晶圆装卸装置。

应用

  • MOS
  • VCSEL
  • 双极型晶体管
  • 分立式半导体
  • 功率半导体
  • MEMS
  • 光伏器件
  • 光电子器件

工艺流程

  • 大气压加工
  • 退火
  • 氧化
  • 扩散
  • LPCVD(低压化学气相沉积)
  • PECVD(等离子增强化学气相沉积)