c.HORICOO 300

c.HORICOO 300
c.HORICOO 300
c.HORICOO 300

用于300mm晶圆工艺的卧式高产能系统

centrotherm c.HORICOO 300卧式批处理系统是世界上第一个用于最先进的高产能的 300 mm晶圆加工平台。 设备平台由两个各含4层炉管的系统及一个自动化装置装载系统组成。

加热系统包括5个双区加热单元,提供centrotherm出众的温度均匀性以及理想稳定的工艺。 centrotherm Hydrox系统同时支持干氧及湿氧工艺。

支持高达1200°C高温工艺,其氧化和Drive-in工艺可促进研发更具有低界面陷阱密度(Dit)和高沟道迁移率的氧化物层。