生产设备

小批量生产晶圆热加工

小批量生产晶圆热加工

    工艺流程

    • 大气压加工
    • 退火
    • 氧化
    • 扩散
    • LPCVD(低压化学汽相沉积)
    • PECVD(等离子增强化学汽相沉积)
    小批量生产晶圆热加工: c.VERTICOO Mini

    快速热处理系统

    快速热处理系统

      工艺流程

      • 离子注入后退火
      • 生成硅化物(钛、钴、镍、铂等)
      • 氧化
      • 磷硅酸盐玻璃回流
      • 金属化退火
      • 进一步应用
    快速热处理系统: c.RAPID 200