c.PLASMA X PECVD 系统

PECVD石墨舟
晶体硅太阳能电池加工过程中的钝化与增透膜

下一代高产能PECVD系统

革命性的c.PLASMA X 管式PECVD系统将推动光伏产业的发展。基于全球安装量超过1000台的centrotherm成熟平台,它设定了高产能的新标准。具有优异的工艺表现和最低的运营成本,它很快将成为光伏工业的新标杆。

和知名的前一代产品一样,新的10管设计同样实现了最大的工艺灵活性及系统可利用性。最值得称道的是,它集成了TMA供应柜和真空泵,显著节省了占地面积。如果生产负荷和工艺顺序发生变化,它仍然能够保证平稳运转。即使单根炉管因维护、工艺优化、暂停使用而停止工作,其余炉管仍能够连续的有硅片产出。

优点

  • 优异的钝化性能
  • 一体化表面处理(良好的附着力、无气泡)
  • 可变的多层与梯度层加工顺序
  • 由于冗余与短周期时间实现高利用率
  • 10个独立运转的石英管反应腔(可选:五管式)
  • 全自动舟输送
  • 水冷却系统防止不同炉管间的热干扰
  • 模块化设计便于安装与启动投产,并能整合到现有生产线中去

工艺流程

  • 氮化矽 (SiNx) PECVD
  • 二氧化硅 (SiOx) PECVD
  • 氮氧化物 (SiONx) PECVD
  • 氧化铝 (AlOx) PECVD
  • Multi-Layer多层
  • 其他工艺