c.LAB 研发系统

R&D Anlage
Diffusion R&D Anlage
Technologen R&D Anlage

研发晶体硅太阳能电池应用的批量类系统

商先创公司的研发管式系统是为太阳能电池生产研究和开发多样化的工艺要求专门设计的。这一系统不仅对于小批量加工非常理想,对于大批量加工也表现出优异的性能,例如用于对生产环境的工艺效果进行评估。

该管式系统的主要性能包括一流的工艺性能、占地面积小、总体拥有成本低、工艺灵活性高,适于广泛的不同应用。

 

优点

  • 多达4根独立运转的石英管(可选:碳化硅)
  • 可以根据工艺要求选择不同的反应腔(有2管版与4管版可供选用)
  • 清洁的自动舟装载(软着陆装置)
  • 可以小批量(研发)加工也可以批量生产(评估)
  • 水冷却系统防止不同加工处理管之间的热干扰
  • 把生产环境中的热负荷降至最小限度
  • 模块化设计便于安装与启动投产

工艺流程

  • 大气压
    - 扩散 (POCl3, BBr3, 可选:B2H6, PH3)
    - 湿氧化与干氧化(任选:DCE 、HCl)
    - 接触烧结
    - 退火
  • 低压
    - LP POCl3
    - LP BBr3
  • PECVD(等离子增强化学气相沉积工艺)
    - 氧化物
    - 氮化物
    - 氮氧化物
  • LPCVD(低压化学气相沉积)
    - 多晶硅(掺杂多晶硅与不掺杂多晶硅)
    - 四氮化三硅
    - 氧化物 (TEOS, LTO, HTO等.)
    - 氮氧化物