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c.DIFF 管式低压扩散炉

c.DIFF X
c.DIFF LP
Prozessboot Diamantstellung

领先的太阳能电池扩散技术

c.DIFF是centrotherm提供的一款享有盛誉的多用途扩散系统,可在高效太阳能电池制程中形成可靠的发射极。该低压系统可应用于P型和N型晶体硅太阳能电池的生产。

得益于其宽泛的工艺窗口和灵活的工艺控制性能,即使在方阻为200Ω/sq的情况下,c.DIFF仍可提供优质、可靠的均匀发射极。管式生产系统的独特优势在于其在不同生产负荷和工艺步骤中的高度灵活性,即当其中一根炉管进行维修、关闭或工艺优化时,其他炉管仍可继续工作。

根据特定的生产要求,centrotherm可提供定制化配置,如在工艺压力、产能及自动化水平等方面。

除具有高度灵活性和多功能处理能力的5管c.DIFF LP外,近期推出的c.DIFF X 可以大大提高产能。10根炉管配置,可处理硅片的边长达210mm,c.DIFF X 是为了更好的服务于各大P型高效太阳能电池制造商而开发的高产能设备。

    优点

    • 高效太阳能电池工艺
      • 优异的扩散均匀性
      • 可实现更高的方块电阻(250Ω)
      • 新一代用于发射极制程的扩散工艺
      • 气体气氛的快速改变能够建立新的扩散条件,
        进而更好的调整发射极的掺杂曲线。
    • 最低的成本投入
      • 相同产能下通过减少设备数量达到最小的占地空间
      • 更低的物料和动力消耗
        (节省POCl3多达50%, BBr3多达75%)

    工艺流程

    • 低压扩散工艺(POCl3, BBr3)
    • 可选项:可实现常压工艺POCl3, BBr3, BCl3)
    • 湿氧和干氧氧化工艺(可选项:DCE, HCl)
    • 退火工艺(例如N2, H2)
    • 要求的其他工艺