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c.DIFF LP 管式低压扩散炉

Niederdruck-Diffusionsofen c.DIFF LP
Vakuum-Schließmechanismus des c.DIFF LP
Prozessboot Diamantstellung

管式低压扩散炉

低压扩散炉的问世,标志着centrotherm为晶体硅太阳电池扩散工艺设定了全新标准。

得益于全新的低压扩散工艺,我们的客户在高至150Ω/sq的方块电阻范围内实现了优异的发射极扩散均匀性。高产能和低消耗的特性,让该产品能够在低拥有成本和占地面积的情况下生产高品质的太阳电池。

商先创公司管式炉具有高度的灵活性,能够适应变化多端的产能应用与工艺流程变化,这是该产品的又一个的主要优点。

此外,由于能够分别控制各个工艺炉管,从而保证了生产的连续性,甚至在某个炉管进行维护过程中或停机时,其它炉管也能正常运行。

    优点

    • 高方块电阻范围内实现优异的扩散均匀性和重复性
    • 硅片双面扩散(磷的吸杂效应提高了材料质量)
    • 冗余度提高了可利用率
    • 纯度达到最大限度(无残余物气相扩散)
    • 能够根据产能进行配置(工艺炉管数、可选背对背装载)
    • 多达5个石英管能够彼此独立运行
    • 低耗材和动力消耗
    • 占地面积最小化

    工艺流程

    • 三氯氧磷扩散 (POCl3)
    • 三溴化硼扩散 (BBr3)