生产设备

低压扩散炉的问世,标志着centrotherm为晶体硅太阳电池扩散工艺设定了全新标准

低压扩散炉的问世,标志着centrotherm为晶体硅太阳电池扩散工艺设定了全新标准

    工艺流程

    • 三氯氧磷扩散
    • 三溴化硼扩散
    管式低压扩散炉: c.DIFF LP

    水平管式LPCVD系统,用于本征或原位掺杂的多晶硅薄膜量产

    水平管式LPCVD系统,用于本征或原位掺杂的多晶硅薄膜量产

      工艺流程

      • LPCVD
    LPCVD系统: c.DEPO X

    电池生产中用于烧结金属电极的烧结炉

    电池生产中用于烧结金属电极的烧结炉

      工艺流程

      • 正面金属化烧结
      • 背面触点合金化
      • 干燥金属化浆料
    快速烧结炉: c.FIRE

    光热再生炉- 抑制太阳能电池片LID衰减

    光热再生炉- 抑制太阳能电池片LID衰减

      工艺流程

      • 太阳能电池片光热再生    
      • 硼氧对缺陷钝化
    再生炉: c.REG

    研发晶体硅太阳能电池应用的批量类系统

    研发晶体硅太阳能电池应用的批量类系统

      工艺流程

      • 大气压
        扩散 | 湿氧化与干氧化 | 接触烧结 | 退火
      • 低压
        氧化物 | 氮化物 | 氮氧化物
      • LPCVD (低压化学汽相沉积)
        多晶硅(掺杂多晶硅与不掺杂多晶硅) | 四氮化三硅 | 氧化物 | 氮氧化物
    研发系统: c.LAB