生产设备

用于晶体硅太阳能电池扩散、氧化与退火处理的管式炉

用于晶体硅太阳能电池扩散、氧化与退火处理的管式炉

    工艺流程

    • 扩散(三氯氧磷、三溴化硼)
    • 退火
    • 湿氧化与干氧化(任选:DCE 、HCl)
    • 其他工艺
    扩散炉: c.DIFF

    低压扩散炉的问世,标志着centrotherm为晶体硅太阳电池扩散工艺设定了全新标准

    低压扩散炉的问世,标志着centrotherm为晶体硅太阳电池扩散工艺设定了全新标准

      工艺流程

      • 三氯氧磷扩散
      • 三溴化硼扩散
      管式低压扩散炉: c.DIFF LP

      电池生产中用于烧结金属电极的烧结炉

      电池生产中用于烧结金属电极的烧结炉

        工艺流程

        • 正面金属化烧结
        • 背面触点合金化
        • 干燥金属化浆料
      快速烧结炉: c.FIRE

      光热再生炉- 抑制太阳能电池片LID衰减

      光热再生炉- 抑制太阳能电池片LID衰减

        工艺流程

        • 太阳能电池片光热再生    
        • 硼氧对缺陷钝化
      再生炉: c.REG

      研发晶体硅太阳能电池应用的批量类系统

      研发晶体硅太阳能电池应用的批量类系统

        工艺流程

        • 大气压
          扩散 | 湿氧化与干氧化 | 接触烧结 | 退火
        • 低压
          氧化物 | 氮化物 | 氮氧化物
        • LPCVD (低压化学汽相沉积)
          多晶硅(掺杂多晶硅与不掺杂多晶硅) | 四氮化三硅 | 氧化物 | 氮氧化物
      研发系统: c.LAB