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关键设备

多晶硅生产

CVD - 还原炉

用西门子法工业生产多晶硅

CVD reactor

STC-TCS 氢化炉

从四氯化硅（STC）到三氯硅烷（ TCS）的转换

STC-TCS converter

实验室 CVD 还原炉

确保多晶硅生产的无污染工艺

Lab-CVD reactor

尾气回收系统

用于回收CVD还原炉和STC-TCS 氢化炉的废

Vent gas recovery system

硅锭和硅片生产

多晶铸锭炉

集成式硅锭和硅片生产线的关键设备

Multi-crystalline ingot furnace