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关键设备

晶片批量生产系统

Activator 150

SiC和GaN退火及石墨烯生长

Activator 150

Oxidator 150

高温氧化炉

Oxidator 150

Verticoo 200

用于批量生产立式炉

test1

E 2000

用于大批量生产的卧式炉

E 2000 horizontal furnace

E 1550

用于初步小规模生产的卧式炉

E 1550 horizontal furnace

E 1200

用于科研的卧式炉

E 1200 Horizontal furnace

封装

VLO 180 & VLO 300

适用于大批量生产的真空焊接系统

VLO 300

VLO 20

适用于研发和小型批量生产的真空焊接系统

VL0 20

VLO 6 & VLO 12

适用于先进封装和研发用的真空焊接系统

VLO 6