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扩散和氧化系统

高产能扩散炉

电池生产中提高产能的管式炉扩散工艺

High throughput POCl3 diffusion furnace

扩散炉

电池生产中管式炉扩散工艺

POCl3 diffusion furnace

氧化硅沉积

PECVD 连续式在线生产设备

多晶电池生产中提高产率的连续式在线氮化硅镀膜设备

c.NITE Inline

PECVD 系统

电池生产中管式氮化硅镀膜设备

PECVD system

氮化硅– 预镀膜设备: c.NITE Pre

湿法化学清洗后对石墨舟进行预镀膜处理

Nitride pre-coating system c.BONITE

金属化

烧结炉

电池生产中用于烧结金属电极的烧结炉

烘干炉

电池生产中用于烘干金属浆料的烧结炉

Drying furnace

烧结炉

电池生产中用于烧结金属电极的连续加热炉

Fast firing furnace

激光工艺

激光系统

电池生产中高效激光工艺的应用

Laser system

研发设备

R&D设备

电池生产中用于研发的管式设备

R&D system